扫描电子显微镜(SEM) - FEI香港有限公司北京代表处

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产品图片	产品名称/型号	产品简单介绍
	Quanta FEG场发射环境扫描电镜	1.分辨率：<2nm @ 30kV @ 高真空模式、环境真空模式 2.加速电压 200V ～ 30kV 3.高稳定性Schottky场发射电子枪 4.样品室压力*高达4000Pa
	Nova NanoLab SEM/FIB "双束"工作站	1.SEM分辨率：1.1nm@15kV， 2.5nm@1kV 2.FIB分辨率：7nm (可达到5nm) 3.加速电压：SEM 200V-30kV, FIB 5-30kV 4.探测器：E-T二次电子探测器，TLD二次电子/背散射电子探测器，CDEM离子探测器，样品室红外CCD；可选STEM、固体背散射探测器等 5.气体注入系统（GIS）：Pt沉积气体、W沉积气体、C沉积气体，金属增强蚀刻气
	Quanta 扫描电子显微镜	1.分辨率：3.5nm @30kV @高真空、低真空和环境真空模式 2.样品室压力*高达2600Pa 3.加速电压200V ～ 30kV，连续调节

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