技术特性：
a) 主要性能：
该系统可对3～8英寸、*大长度700mm的晶棒进行定向和粘接。
b) 主要参数：
● X射线管：铜靶，强迫风冷● 样品旋转角度：-10～50°
● 管电压：30KVP，全压合闸● 计数管：盖革，工作电压500～1100V
● 管电流：0～5mA，连续可调● 时间常数：1、2档
● 整机耗电功率：小于0.5KW● 定位板旋转角（α）：±10°, *小读数0.001°
● 灵敏度：优于0.01°● 晶棒旋转角（β）：±90°, *小读数0.1°
● *小角度读数：0.001°● 直径3～8英寸，长度700mm