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产品资料

Olympus MX61/ MX61L FPD检查显微镜

Olympus MX61/ MX61L FPD检查显微镜
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:Olympus MX61/ MX61L FPD检查显微镜
  • 产品型号:MX61_ MX61L
  • 产品展商:Olympus
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍
Olympus MX61/ MX61L FPD检查显微镜 MX61/ MX61L FPD检查显微镜 ● 大型载物台搭载:可用于400*300mm液晶基板,300mm晶圆**检查(MX61L) ● 采用高NA的透射光聚光镜,图象更锐利 ● 多种观察方式,多种照明方式,多种附件以满足不同应用要求 ● 透射和反射照明可同时使用,极大提高液晶基板观察效果
产品描述
Olympus MX61/ MX61L FPD检查显微镜
Olympus MX61/ MX61L FPD检查显微镜Olympus MX61/ MX61L FPD检查显微镜

  MX61/ MX61L  FPD检查显微镜

    产品特性


   ● 大型载物台搭载:可用于400*300mm液晶基板,300mm晶圆**检查(MX61L)
   ● 采用高NA的透射光聚光镜,图象更锐利
   ● 多种观察方式,多种照明方式,多种附件以满足不同应用要求
   ● 透射和反射照明可同时使用,极大提高液晶基板观察效果
 

FPD检查显微镜MX61 规格参数  
学系统UIS2光学系统(无限远校正)
机身观察方法明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
反射/透射反射/透射
照明装置机身一体型(明视场,暗视场+1选件)
照明系统反射照明100 W卤素/100 W水银/75 W氙
透射照明纤维光导
对焦单元电动/手动手动
行程32 mm
分辨率/微调灵敏度微调旋钮转动1周移动0.1 mm
*大样本高度30 mm
物镜转换器电动型明视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉中心输出5孔
手动式-
载物台行程8×8 英寸右下手柄:210(X)×210(Y)mm(透射照明范围189×189 mm)
6×6 英寸右下手柄:158(X)×158(Y)mm
观察筒广角视场(视场数22)倒置双目/三目观察筒
正像三目观察筒
超宽视场(视场数26.5)倒置三目观察筒
正像倾斜三目观察筒
附件单元DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
外形尺寸509(W)×843(D)×507(H)mm(标准组合)
重量40 kg(标准组合)
FPD检查显微镜MX61L 规格参数 
光学系统UIS2光学系统(无限远校正)
机身观察方法明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
反射/透射反射/透射
照明装置机身一体型(明视场,暗视场+1选件)
照明系统反射照明100 W卤素/100 W水银/75 W氙
透射照明纤维光导
对焦单元电动/手动手动
行程32 mm
分辨率/微调灵敏度微调旋钮转动1周移动0.1 mm
*大样本高度30 mm
物镜转换器电动型明视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉中心输出5孔
手动式-
载物台行程14×12 英寸右下手柄:356(X)×305(Y)mm(透射照明范围356×284 mm)
观察筒广角视场(视场数22)倒置双目/三目观察筒
正像三目观察筒
超宽视场(视场数26.5)倒置三目观察筒
正像倾斜三目观察筒
附件单元DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
外形尺寸710(W)×843(D)×507(H)mm(标准组合)
重量51 kg(标准组合)
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