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产品名称:
反射光谱薄膜测厚仪
产品型号:
TFMS-LD
产品展商:
MTI
产品价格:
0.00 元
简单介绍
TFMS-LD是一款反射光谱薄膜测厚仪,可快速精-确地测量透明或半透明薄膜的厚度,其测量膜厚范围为15nm-50um,仪器所发出测试光的波长范围为400nm-1100nm。此款测试系统理论基础为镜面反射率,并且采用光纤反射探头。仪器尺寸小巧,方便于在实验室中摆放和使用。
反射光谱薄膜测厚仪的详细介绍
技术参数
测量膜厚范围
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15nm-50um
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光谱波长
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400 nm - 1100 nm
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主要测量透明或半透明薄膜厚度
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氧化物
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氮化物
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光刻胶
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半导体(硅,单晶硅,多晶硅等)
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半导体化合物(ALGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS等)
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硬涂层(碳化硅,类金刚石炭)
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聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)
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金属膜(点击图片可查看详细资料)
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特点
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测量和数据分析同时进行,可测量单层膜,多层膜,无基底和非均匀膜
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包含了500多种材料的光学常数,新材料参数也可很容易地添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等
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体积较小,方便摆放和操作
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可测量薄膜厚度,材料光学常数和表面粗糙度
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使用电脑操作,界面中点击,即可进行测量和分析
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精度
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0.01nm或0.01%
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准确度
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0.2%或1nm
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稳定性
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0.02nm或0.02%
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光斑尺寸
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标准3mm,可以小至3um
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要求样品大小
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大于1mm
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分光仪/检测器
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400 - 1100 nm 波长范围
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光谱分辨率: < 1 nm
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电源 100 -250 VAC, 50/60 Hz 20W
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光源
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5W的钨卤素灯
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色温:2800K
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使用寿命:1000小时
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反射探针
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光学纤维探针,400um纤维芯
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配有分光仪和光源支架
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载样台
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测量时用于放置测量的样品
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通讯接口
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USB接口,方便与电脑对接
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TFCompanion软件
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强大的数据库包含两500多种材料的光学常数(n:折射率,K:消失系数)
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误差分析和模拟系统,保证在不同环境下对样品测量的准确性
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可分析简单和复杂的膜系
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设备尺寸
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200x250x100mm
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重量
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4.5kg
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