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产品名称:
膜厚监测仪
产品型号:
EQ-TM106
产品展商:
MTI
产品价格:
0.00 元
简单介绍
EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理，结合先进的频率测量技术，进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中，对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。根据实时速率可以输出PWM模拟量，作为膜厚传感器使用，与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制。
膜厚监测仪的详细介绍
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性能指标和基本配置
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主要特点
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● 本机可与计算机连接。
● 显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点，可直观显示所测的膜厚、速率、频率、PWM
● 控制输出的百分比等工作状态。
● 通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置，并可将所测相关数据写入Excel文件。
● 具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。
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EQ-TM106-1监测组件
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● 电源：DC 5V（±10%），*大电流400mA
● 频率分辨率：±0.03Hz
● 膜厚分辨率：0.0136Å（铝）
● 膜厚准确度：±0.5%，取决于过程条件，特别是传感器的位置，材料应力，温度和密度
● 测量速度：100ms-1s/次，可设置
● 测量范围：500000Å（铝）
● 标准传感器晶体：6MHz
● 计算机接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置，数据位：8，停止位：1，校验：无）
● 模拟输出：8比特分辨率，PWM脉宽调制输出（集电极开路或内部5V输出）
● 工作环境：温度0-50℃，湿度5%-85%RH，不得有冷凝水珠
● 外形尺寸：90mm×50mm×18mm
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EQ-TM106-2显示仪
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● 输入电源：AC 220V±10%
● 输出电源：DC 5V 3A
● 显示器：12×2数码管与LED
● 通讯端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置，数据位：8位，停止位：1位 ，奇偶校验：无）
● 外形尺寸：182mm×65mm×160mm
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EQ-TM106-3探头
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● 适用晶片频率：6MHz
● 适用晶片尺寸：Φ14mm
● 安装法兰：CF35
● 冷却水管：Φ3mm，长度300mm、500mm、1000mm
● 冷却水压：<0.3MPa
● 气动挡板路管：Φ3mm
● 压缩空气压力：
● 烘烤温度：通水状态<200℃，不通水状态法兰<100℃
● 电气接口：BCN插座
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标准配件
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1EQ-TM106-1监测组件1个2EQ-TM106-2显示仪1台3EQ-TM106-3探头1个
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保修期
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一年保修，终身技术支持。
点击查看售后服务承诺书。
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