三温区三通道混气CVD系统

炉体结构

• 采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面温度小于55℃
• 炉膛材料采用高纯氧化铝纤维，*大程度减少能量损失
• 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命
• 三个温区分别被三个独立的温控系统控制

功率

9 KW(需要75A的空气开关 )

电压

AC 208-240V 单相, 50/60 Hz 

加热区

• 总加热区长度: 25" (630 mm) 
• 加热温区1长度: 7.5" (190 mm) 1400°C 通过4根硅碳棒加热，*高温度可达1400℃
• 升温速率: 10°C/min
• 加热温区2长度:: 10" (250 mm)1700°C 通6根硅钼棒加热，*高温度可达1700℃
•  *快升温速率: 5°C/min
• 加热温区3长度:: 7.5" (190 mm) 1400°C 通过4根硅碳棒加热，*高温度可达1400℃
• *大升温速率:  10°C/min

炉管和法兰尺寸

• 99.8%高纯刚玉管 purity Alumina Tube
• 尺寸：2-3/8" ( 60mm) O.D.x 2-1/8"I.D. (54mm) x 48" (1200mm) Length
• 一对60mm的不锈钢密封法兰，法兰上已安装阀门和仪表
•  仪器中包括4个氧化铝管堵

温控系统

• 3个温控系统，都是PID30段程序化控温  
• 控温仪表操作视频

控温**度

+/-1°C

低真空系统

• 采用TRP-12的双旋机械泵，其针对于本公司的管式炉，真空度可达到 10-2 Torr.
• 一个KF25的不锈钢波纹管已安装在真空系统上，其尺寸为 25mm Dia x 1000mm length ，可于管式炉上的法兰相连接

 数字式真空显示计

•  CE认证的皮拉尼式数显真空计，带有LED数字式显示，其量程为10-4 to 1000 Torr.
•  可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（点击图片查看详细介绍）
  
   

三路浮子混气系统

• 3个浮子流量计（**度4%FS）安装在一个移动架上，可以推动，可同时混入三种不同气体。
• **路气体流量范围为10-100 cc/min. 
• **路气体流量范围为16-160 cc/min.
• 第三路气体流量范围为25-250 cc/min.
• 一个压力表安装在移动加上，压力表直接于移动架内的混气箱相连接
• 移动架上安装有4个不锈钢针阀 

尺寸

高温炉:   863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H  inch)

质保期& 质量认证

一年质保期. (不包括炉管加热元件和密封圈 .) 

 CE certified