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带有预热系统的滑动PECVD
1700℃单温区三通道混气CVD系统
三温区三通道混气CVD系统
九通道混气高真空CVD系统
1700°C二通道混气高真空CVD系统-GSL-1700X-4-HVC
多通道质量控制高真空PECVD管式炉系统
1200℃Mini型 2通道CVD系统
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