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產品名稱:
膜厚監測儀
產品型號:
EQ-TM106
產品展商:
MTI
產品價格:
0.00 元
簡單介紹
EQ-TM106膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理，結合先進的頻率測量技術，進行膜厚的在線監測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中，對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測。根據實時速率可以輸出PWM模擬量，作為膜厚傳感器使用，與調節儀和蒸發電源配合實現蒸發源的閉環速率控制。
膜厚監測儀的詳細介紹
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性能指標和基本配置
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主要特點
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● 本機可與計算機連接。
● 顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優點，可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM
● 控制輸出的百分比等工作狀態。
● 通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數、輸出量程及通訊參數等進行設置，并可將所測相關數據寫入Excel文件。
● 具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優點。
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EQ-TM106-1監測組件
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● 電源：DC 5V（±10%），*大電流400mA
● 頻率分辨率：±0.03Hz
● 膜厚分辨率：0.0136Å（鋁）
● 膜厚準確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，材料應力，溫度和密度
● 測量速度：100ms-1s/次，可設置
● 測量范圍：500000Å（鋁）
● 標準傳感器晶體：6MHz
● 計算機接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置，數據位：8，停止位：1，校驗：無）
● 模擬輸出：8比特分辨率，PWM脈寬調制輸出（集電極開路或內部5V輸出）
● 工作環境：溫度0-50℃，濕度5%-85%RH，不得有冷凝水珠
● 外形尺寸：90mm×50mm×18mm
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EQ-TM106-2顯示儀
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● 輸入電源：AC 220V±10%
● 輸出���源：DC 5V 3A
● 顯示器：12×2數碼管與LED
● 通訊端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置，數據位：8位，停止位：1位 ，奇偶校驗：無）
● 外形尺寸：182mm×65mm×160mm
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EQ-TM106-3探頭
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● 適用晶片頻率：6MHz
● 適用晶片尺寸：Φ14mm
● 安裝法蘭：CF35
● 冷卻水管：Φ3mm，長度300mm、500mm、1000mm
● 冷卻水壓：<0.3MPa
● 氣動擋板路管：Φ3mm
● 壓縮空氣壓力：
● 烘烤溫度：通水狀態<200℃，不通水狀態法蘭<100℃
● 電氣接口：BCN插座
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標準配件
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1EQ-TM106-1監測組件1個2EQ-TM106-2顯示儀1臺3EQ-TM106-3探頭1個
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保修期
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一年保修，終身技術支持。
點擊查看售后服務承諾書。
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