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產品圖片	產品名稱/型號	產品簡單介紹
	小型PECVD管式爐系統	OTF-1200X-50S-PE是一款小型的PE-CVD（等離子體氣相沉積）管式爐系統。此套設備帶有500W的等離子射頻電源，一個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）和一個直聯式雙旋機械泵。因此這套設備模型可以更新為不同的PECVD系統。對于有限的經費的情況下來進行材料探索，此套系統極為理想。
	雙爐體滑動PECVD系統	雙爐體滑動PECVD系統是一款雙爐體滑動的PECVD系統，并且連接有循環手套箱。此款設備中石英爐管與一循環手套箱相連接，允許客戶用CVD方法把樣品制作好以后，直接把樣品移入到氣氛保護環境下的手套箱中。爐體采用滑動式，可在室驗中對樣品進行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。
	1000℃小型開啟式管式爐	1000℃小型開啟式管式爐是一款小型開啟式管式爐，其*高工作溫度可達到1000℃，爐管可以選用直徑為100mm或130mm的石英管，并且可配一套不銹鋼密封法蘭（上面安裝有不銹鋼截止閥和通氣接口），可在真空或氣氛保護環境下對樣品進行熱處理。控制系統與爐體分開，可設置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1℃。

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