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產品名稱:
小型PECVD管式爐系統
產品型號:
OTF-1200X-50S-PE
產品展商:
科晶
產品價格:
0.00 元
簡單介紹
OTF-1200X-50S-PE是一款小型的PE-CVD（等離子體氣相沉積）管式爐系統。此套設備帶有500W的等離子射頻電源，一個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）和一個直聯式雙旋機械泵。因此這套設備模型可以更新為不同的PECVD系統。對于有限的經費的情況下來進行材料探索，此套系統極為理想。
小型PECVD管式爐系統的詳細介紹
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性能指標和基本配置
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開啟式管式爐
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● 輸入電源：208 – 240V AC, 1.2kW
● *高工作溫度1200℃（小于1小時）
● 連續使用溫度1100℃
● 采用高純氧化鋁作為爐膛材料，并且表面涂有美國進口高溫氧化鋁涂層，可延長儀器使用壽命和提高加熱效率
● 高純石英爐管，尺寸為 50mmOD x 44mmID x 780mmL
● 可設置30段升降溫程序，并帶有過熱和斷偶保護
● 加熱區長度為200mm
注：由于測量手段及外部環境的影響，測量結果可能會有偏差，此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的數據，請與我公司銷售人員聯系
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等離子體射頻電源
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● 輸出功率: 5 -500W可調
● 穩定性為+/-1%
● 射頻電源頻率13.56 MHZ, 穩定性±0.005%
● *大反向功率: 200W max
● 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半島體, 陰極
● 噪聲<50 dB.
● 冷卻方式：空氣冷卻
● 輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz
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真空法蘭和接頭
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● 真空法蘭采用304不銹鋼制作
● 左端法蘭��安裝有防腐型數字真空計、不銹鋼針閥和一個球閥。
● 右端法蘭設計為KF25接口，上面配有泄氣閥，擋板閥和兩個KF25卡箍
● 儀器中所配的數字真空計，可以不用因使用氣體的不同而進行校正，同時還具有防腐功能
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真空泵
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● AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W
● 2L/s
● 與本公司管式爐配套使用，可使其真空度達到10-2 torr
● 進氣端帶有儲氣球（防止回油），出氣端安裝有油霧過濾器（防止油霧擴散到空氣中，保護環境和人體健康）
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產品尺寸和重量
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外形尺寸：1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H)
凈重: 160 lbs
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可選配置
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● 請點擊查看下面的混氣及氣液混合系統
● 防腐型小型三路浮子混氣系統
● 精密氣液混合系統
● 三路質子混氣系統
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混氣系統
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● 3個浮子流量計安裝在一個移動架上，可以推動，可同時混入三種不同氣體。
● 第1路氣體流量范圍為10-100 cc/min.
● 第2路氣體流量范圍為16-160 cc/min.
● 第3路氣體流量范圍為25-250 cc/min.
● 一個壓力表安裝在移動加上，壓力表直接于移動架內的混氣箱相連接 ，來監測混合氣體的壓力
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開門斷電
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● 為保證使用**，該電爐為開門斷電設計
 
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應用注意事項
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●爐管內氣壓不可高于0.02MPa
●由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精-確**
●當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態
●進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
●石英管的長時間使用溫度＜1100℃
●對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
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質量認證
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CE Certified
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保修期
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一年保修，終身技術支持。
特別提示：
1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
點擊查看售后服務承諾書。
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