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產品名稱:
混氣系統2路浮子
產品型號:
CGM-2F
產品展商:
MTI
產品價格:
0.00 元
簡單介紹
CGM-2F是一款小型的兩通道混氣系統，用于惰性氣體的控制，可用以小型管式爐，手套箱，等離子清洗機，小型PECVD系統等。
混氣系統2路浮子的詳細介紹
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性能指標和基本配置
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浮子流量計
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兩個浮子流量計可以將流量速率控制在16 to 160 mL/min
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混氣罐
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內置一個不銹鋼混氣罐，可以良好的混氣
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機械壓力表（混氣罐）
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-0.1-0.15 MPa
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關鍵和閥門
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● 采用ss304不銹鋼
● 三管件接口直徑為1/4”（接管可選聚四氟或不銹鋼）
 
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外形尺寸
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340 mm L x 300 D mm x 180 H mm
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凈重
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約10 Kg
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可選
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● CVD或者PECVD
● 液相氣體發生器
● 1200℃微型二通道混氣CVD系統--OTF-1200X-S50-2F
● Plasma等離子清洗
  
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保修期
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一年保修，終身技術支持。
特別提示：
1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
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