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MKS电源-等离子体电源
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MKS电源-等离子体电源
产品资料
MKS电源-等离子体电源
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
MKS电源-等离子体电源
产品型号:
产品展商:
MKS
产品文档:
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简单介绍
ASTeX 远程等离子体电源适用于氧气,氮气,氢气,水汽等气体,广泛应用于CVD,ETCH,去胶等晶圆工艺。
产品描述
产品有以下型号:
R*evolution -AX7690 集成远程等离子体源用于精元工艺。
微波等离子体源:
AX2600 集成等离子体系统
Smart Power-AX2500系列微波电源
ASTeX-AX3060 SmartMatch微波匹配器
ASTeX-AX7619 下游等离子体源
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