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产品资料

MKS电源-等离子体电源

MKS电源-等离子体电源
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:MKS电源-等离子体电源
  • 产品型号:
  • 产品展商:MKS
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍
ASTeX 远程等离子体电源适用于氧气,氮气,氢气,水汽等气体,广泛应用于CVD,ETCH,去胶等晶圆工艺。
产品描述

产品有以下型号:

R*evolution -AX7690 集成远程等离子体源用于精元工艺。


微波等离子体源:


  • AX2600 集成等离子体系统
  • Smart Power-AX2500系列微波电源
  • ASTeX-AX3060 SmartMatch微波匹配器
  • ASTeX-AX7619 下游等离子体源


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