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国内外超声波清洗研究现状-北京金科利达

发布时间：2015-04-14

国内外超声波清洗研究现状-北京金科利达
经过多年超声波清洗技术的发展，目前超声波清洗设备逐渐趋于两个方向：其一是各种类型的多缸、传动链式或升降式超声波清洗生产线持续上市；其二是，低频超声波清洗机向高频超声波清洗机转变。纵观国内外市场，美国、日本、欧洲以及亚太区域，多缸式超声波清洗设备销量增加，占销售总量的50％，而多工位半自动、全自动传动链式或升降式超声波清洗设备占到总量的40％以上。
我国超声波清洗技术炙手可热，超声波清洗应用也凸显成效，证明了其技术优越性：首先，机械工业方面，机械零部件电镀前后或在喷涂前需要清洗；机器维修过程中零部件需要清洗；诸如油泵油嘴偶件、轴承、制动器、燃油过滤器、阀门等高清洗度要求的器件在装配过程中需要清洗。其次，印制电路板、硅片、晶片、信号控制级别的继电器、元器件、连接件、显像管以及电真空器件等在安装过程中需要清洗。第三，眼镜、显微
镜、望远镜、瞄准镜等具有光学系统及取样玻璃片的清洗。第四，医用器具、食品、医药等试验中所用各种瓶罐器皿使用后的清洗。第五，喷丝头、精密模具、精密橡胶件、珠宝工艺品等的清洗。以上列举了主要的超声波清洗的应用途径，此外还有古董文物等方面。
伴随着超声波清洗设备的应用范围的拓展，超声波清洗设备更新换代速度，新型产品雨后春笋般地涌现，从而新技术也推陈出新——高频超声波清洗技术。高频超声波清洗技术中兆赫超声波清洗技术应用较多，其采用频率700kHz—2MHz 的超声波进行清洗。兆赫超声波清洗技术有以下的主要优点：一是避免了对高光洁度物体表面清洗时带来损伤；二是更加精准地去除附着在器件表面的亚微米级的污垢。兆赫超声波清洗产品在目前市场上已经存在，国外市场上有售商用的兆赫超声波清洗设备。昆山舒美开发的兆赫超声波清洗设备主要应用在半导体生产线，旨在对100—300mm 硅片的清洗。产品清洗效果既可以除去硅片表面上的*小达到0.15μm 级别的颗粒，又可以阻止漂洗过程中粒子的重新附着。可见，兆赫超声波清洗设备已经是国外大规模集成电路制造商在生产过程中不可或缺的生产线装配设备。

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