一般技術規格 使用的範圍 能量散佈式的 x-射線光譜儀用於測量十分薄的膜層厚度，在合金中測量不同元素的含量。 元素的範圍 鋁 Al (13) 至 鈾 U (92) - 同時檢測多至24 元素。 設 計 桌面式，測量室的門是向上打開的。 測量的方向 由底向上照射
X-射線源 X-射線 管 微焦距管及採用鈹金屬為發射窗口 高壓可調節 10 kV, 30 kV, 50 kV 光束 大小 4x 可變更的 Ø 0.2 mm, Ø 0.6 mm, Ø 1 mm, Ø 2 mm, 或是可要求其他大小 基本 濾片 6x 可變更的(Ni; 無; Al 1000 μm; Al 500 μm; Al 100 μm; 密拉100 μm) 測 量 點 由準直器的孔至樣品面的測量距離來決定的，實際的測量點大小會顯示在樣品影像中的 十字線中間位顯示出來。 *小的測量點大小為約 Ø 0.3 mm 測量距離 0 ... 25 mm, 專利的DCM計算方法，在已校正的範圍內。
X-射線的接收 X-射線的接收器 硅元素偏移式接收器﹝須配合內置的制冷功能﹞ 解像度 ≤ 150 eV (fwhm 在Mn-Kα線計算)
樣品的定位 摄像镜头 高解像的 CCD 彩色攝影機安裝在X射線的同一軸上，所以可以在測量中很準確的顯示測 量的位置。 對位的十字線及顯示測量點 的實際大小是可以校正其刻度 樣品燈光的照明是使用可調光度i 的 LED 燈 放大倍率 34x ... 184x (光學: 34 x… 46x; 數碼: 1x, 2x, 3x, 4x)
樣品的測量台 設 計 固定的測量台 可使用給樣品的面積 318 x 327 mm *重的樣品重量 2 kg *高的樣品高度 86 mm
電源的要求 電壓、頻率 AC 115 V 或 AC 230 V 50 / 60 Hz 耗電功率 *大120 W ( 不計算PC部分) 保護級別 IP 40
尺寸 外圍尺寸 闊 x 深 x 高 [mm]: 380 x 576 x 340 內部測量室尺寸 闊 x 深 x 高 [mm]: 合共: 318 x 307 x 29 – 86 不計算斜面面積: 318 x 203 x 86 重量約 42 kg
環境條件 溫度: 工作 10°C – 40 °C / 50 °F – 104 °F 溫度: 儲存/運輸0 °C – 50 °C / 32 °F – 122 °F 環境濕度 ≤ 95 %, 不凝結
計算器 電腦 Windows® PC 可加插擴充線路板 軟件 基本: Fischer WinFTM BASIC + PDM 可選配: Fischer WinFTM SUPER
標準 CE 認證 EN 61010 X-射線標準 DIN ISO 3497 及 ASTM B 568 認可 符合德國國家規則8222;Deutsche Röntgenverordnung-RöV“