二点五次元影像仪： 含1) 量测行程:150 x 100 mm (X,Y), 量测高度:100 mm 2) 解析读数: X,Y轴 HEIDENHAIN 0.001mm光学尺 3) 量测软件: IK5000/MSU3D Pro/M3 4) 硬设备: PC一部+ 20” LCD彩色屏幕 + WIN-Pro
5) 影像系统: CW 1/3” 直流CCD CAMERA 6) 目视量测倍率：10X~50X，影像量测放大倍率：20X~120X 7) 倍率系统: CW 定格ZOOM 8) 表面灯源: 白色LED表面灯及调光变压器 9) 轮廓底光: LED补光底灯 10) 线性精度: U1=3 + L/200 um 11) 传动方式: Z轴上下对焦 12) 花岗石底座