Inficon LDS3000 Modular Leak Detector

Inficon LDS3000 主机图片如下：


Inficon LDS3000侧面图片如下：

其中，图片中最右面的DN16口（标志为Gross Forepump)接前置真空泵，您可以选择Agilent SH110， Agilent TriScroll 300, Agilent TriScroll 600等涡旋干泵，也可以选择Leybold D4B，Leybold D8B，Leybold D16B等旋片油式真空泵

图片中，最左边的DN25口（标志为Ultra口）连接待测试的腔体。

Inficon LDS3000 使用的涡轮分子泵为德国普发公司的：



在图片中，我们可以看到Inficon LDS3000氦质谱检漏仪所用真空分子泵为Pfeiffer SpiltFlow 80, PMP04010D , PM143740-T
对应的分子泵电源为Pfeiffer TC110:

Infiocn LDS3000氦质谱检漏仪分子泵电源为Pfeiffer TC110， PM C01 790A， 输出频率为1500Hz,对应转速为90000rpm

  中山共享光电真空技术有限公司专业维修Pfeiffer TC110 ，Pfeiffer Spiltflow 80涡轮分子泵


Inficon LDS3000所用的控制面板为Inficon CU1000， 对应订货号为Inficon 560320
INficon CU1000对应的显示内容如下：

Inficon LDS3000氦质谱检漏仪所用控制面板Inficon CU1000 Label：

Inficon LDS3000 氦质谱检漏仪所用的接口PLC： Inficon IO1000,对应订货号为Inficon 560－310

Inficon LDS3000 Modular Leak Detector IO 1000 photo:

 Inficon LDS3000 Modular Leak Detector整体装配图：