一、用途：
GM-400E大平台硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜，图像清晰、衬度好，同时配有偏光装置，及其高像素的数码摄像头.是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等，造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象，使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一.
二、技术参数
1.目镜
类 别
放大倍数
视场(mm)
大视野目镜
10X
φ18
2.物镜
类 型
数值孔径NA
工作距离（mm）
平场消色差物镜
5X
0.12
18.3
0.25
8.9
20X
0.40
8.7
40X
0.60
3.7
80X
0.80
0.96
3.光学放大倍数：50X -- 800X 系统参考放大倍数：50X-5000X4.滤色片组：黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃5.偏光装置：可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片6.载物台：(配有快速移动装置) 尺寸：250*230mm 移动范围：153*153mm[标配] 尺寸：274*274mm 移动范围：203*203mm[选配]7.粗微同轴调焦机构，微动手轮格值：0.002mm8.落射照明器：6V/20W卤素灯，亮度可调9.防霉：特有的防霉系统
10.成像系统:500万高像素的数字摄像头
三、系统组成
大平台硅片检测显微镜(GM-400E): 1.显微镜 2.适配镜 3、500万高像素摄像头
4、计算机(选配)
四、总放***倍数
电脑型硅片检测显微镜（GM-400E)：50--40000倍（17寸显示器为例）
五、选购件
1.测量软件 2.目镜： 20X 10X(带刻度)