1、进水水源为反渗透水、蒸馏水、去离子水;
2、产水量:20/40/60/90升/小时,也可根据客户实际情况定制;
3、产水水质:超纯水水质电阻率大于18.2MΩ.cm@25℃;
4、TOC含量≤3ppb;热源含量<0.001EU/ml;颗粒物<1/ml;微生物<1cfu/ml。
5、外型320*480*560mm.