GB 50073-2013洁净厂房设计规范 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级 尘埃*允许数/立方米 5级 0.5um ≤3520pc/m3 ，5.0 ≤ 29 pc/m3 6级0.5um ≤35200(pc/m3 ，5.0 ≤ 293 pc/m3 7级0.5um ≤352000pc/m3 ，5.0 ≤ 2930 pc/m3 8级0.5um ≤35200000(pc/m3 ，5.0 ≤ 29300 pc/m3 9级0.5um ≤352000000pc/m3 ，5.0 ≤ 29000 pc/m3.
洁净室及洁净区空气洁净度整数等级测试 悬浮粒子检测使用仪器激光尘埃粒子计数器
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空气洁净等级（N）
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GB 50073-2013洁净厂房设计规范 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级
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0.1um
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0.2um
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0.3um
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0.5um
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1um
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5um
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1
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10
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2
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-----
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-----
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-----
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-----
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2
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100
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24
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10
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4
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-----
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-----
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3
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1000
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237
|
102
|
35
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8
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-----
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4
|
1000*10
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237*10
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102*10
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352
|
8.3*10
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-----
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5
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1000*100
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237*100
|
102*100
|
3520
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8.32*100
|
29
|
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6
|
1000*1000
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237000
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102*1000
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35 200
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8.32*1000
|
293
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7
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35 2000
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8.32*10,000
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2930
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8
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35 20000
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8.32*100,000
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293 00
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9
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35 200000
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8.32*1000.000
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293 000
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