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属于洁净度分级与常规检测的空气悬浮粒子计数

B1.属于洁净度分级与常规检测的空气悬浮粒子计数

B1.1 原理

本检测方法对如何测量阈值粒径0.1µm-5µm的空气悬浮粒子浓度作出规定.测量可在空态/静态和动态所有3种状态下进行.本方法用于设施符合GB/T 25915—2010规定洁净度的认证或验证,或用于GB/T 25915.2—2010规定的定期复检.B.1给出的方法源自IEST-G-CC1001:1999。

B1.2 检测规程

采样点数量，采样点位置的选择，洁净区级别的判定，所需数据的量，所有这些都要符合GB/T25915.1—2010的规定。B.1给出的是在每个采样点进行空气采样的基准方法。若供需双方另有协议，也可采用其他具有同样准确度并给出等效数据的方法。若无一致同意的其他方法或出现争议，则应使用本附录给出的基准方法。

B1.2.2 空气悬浮粒子计数规程

将离散粒子计数器的采样头放在预定位置，设定计数器的流量，选择符合BG/T 25915.1—2010规定的粒径阀值。在单向流区域，所选择的采样探头应接近等动力采样，进入采样探头的风速与被采空气的风速偏差不应超过20%。若无法做到这一点，将采样口正对气流的主方向。在风速不受控或不可预测（例如非单向流）的采样点，采样口应竖直向上。采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽量短。采样粒子大于或等于1µm时，连接管的长度和直径不应超过制造商的建议值。

采样过程中，因扩散造成的小粒子损失、因沉降与撞击造成的大粒子损失所产生的采样误差不应大于5%。

B1.3 空气悬浮粒子计数器

如C.1的介绍，离散粒子计数器（DPC）应能够对空气中的粒子进行计数、计径，其粒径辨别率应满足待测设施的洁净度判定要求。粒子计数器应能对规定粒径范围的粒子进行计数，并显示或记录，所用粒子计数器具有有效的校准证书。

B1.4 检测报告

根据供需双方的协议，对于设施洁净度分级或常规检测，第5章规定的检测报告及下述信息和数据应记录在案：

a) 离散粒子计数器的伪计数率；

b) 测量类型：洁净度分组还是监测；

c) 设施的洁净度级别；

d) 粒径范围和计数；

e) 离散粒子计数器采样口的采样流量，通过光敏区的流量；

f) 采样点位置；

g) 检测洁净度等级的采样协议，或监测用采样计划；

h) 占用状态；

i) 与测量有关的其他数据。

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