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湿度检测
洁净室及相关受控环境/检测方法
湿度检测
一、原理
湿度检测的目的是证明设施的空气处理系统,按供需双方议定的时间和控制限值、保持被测区域内空气湿度(用相对湿度或露点表示)的能力。下术检测方法源自IEST-RP-CC006.3
二、湿度检测方法
本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行
进行这项检测时,空调系统已经充分运转,各项状况已经稳定
每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器,并且给传感器充分的稳定时间
所做测量应适合实际使用的目的,待传感器稳定之后,测量时间不少于5分钟
检测点、频度、间隔和数据的记录时间应由供需双方议定
湿度检测与温度检测一起进行
三、湿度检测仪器
湿度检测中使用准确度符合ISO7726:1998规定的传感器。
常见传感器有:
a) 介质膜电容湿度传感器
b)露点传感器
c)干湿球湿度计
仪器的*小测量分辨率应为:设定湿度点和允许的该点波动范围之差的1/5。
仪器应有有效的校准证书。
四、检测报告
根据供需双方协议,第5章规定的检测报告及下述信息和数据应记录在案
a)检测和测量和类型,检测条件
b)所用测量仪器的型号和校准状况
c)i湿度
d)测点位置
e)占用状态
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