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**新型FFU

ffu系统在国外广泛应用，国内的超净工程也有采用的。但ffu造价比较高，使用范围不广泛。深圳**认为ffu系统可以灵活运用，深圳**结合多年的经验研究发现FFU设计的原则是在保证工艺要求洁净度的前提下，降低造价和运行成本。与典型的ffu系统相比，深圳**设计的FFU主要有以下改变。

1ffu省略高架地板，10万级区域作为回风通道。由于FFU风机全压较低，高架地板开孔率要求大于49%，以便降低风阻。这种高架地板通常用铝合金压铸而成，价格较高。该设计省略了高架地板，设备区和操作区之间的隔墙底部架空作回风通道，设备区兼作回风夹层。操作区高达200次/h,的换气次数的风量通过设备区，足够达到十万级。同时，省去了设备区的循环风。

2ffu省略回风，ffu新风量根据设备排风确定。根据排风量确定补充新风量，前提条件是新风量必须大于规范要求的新风比例，系统不设回风，超净室内的热负荷通过干表冷盘管处理。通风管道费用大幅度降低。以上措施大幅度了投资成本（比典型的FFU系统降低30%)以上）。由于系统简化，运行费用也随之降低。在设计施工中，以下几点应注意：##$品牌的选择，直接影响洁净度和噪音指标；省略高架地板，房间的宽度不能超过4m，否则工作面（一般为0.8m）的层流会受影响。在工艺设备布置时应综合考虑，合理布局；考虑FFU的维修空间，方便安装和维修；新风补充应加装高效过滤器，对确保超净车间的洁净度和延长FFU过滤器的使用寿命有好处。

3ffu设备区和操作区分开。ffu设备本身对环境要求并不高，一般在十万级以上，要求高的设备核心部分是全封闭的。而设备体积庞大，积尘面较多，对超净室的洁净度和气流组织有影响。人员操作、产品中转区洁净度要求高，与设备区分开较合理。设计要求工艺设备布局时，设备和操作区按条形间隔分布，使设备和操作相邻，便于设备开口与操作区相连。这样，即保证了操作区的洁净度，有缩小了超净面积。

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