MicroSense 公司（前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司）开创了高辨率电容式位移传感器的先河，致力于为客户提供以艺术级别性能的高精度非接触式微位移传感器。 特性 1.完全非接触式电容式微位移测量—*准确的电子感应技术, 无损样品测量 2.*优化的近距离测量—测量距离在10微米到5毫米 3.高准确性，高灵敏性测量，*高精度可达0.5nm。 4.可探测任何可传导性、接地的测量目标—表面是否抛光以及材质对测量准确度无任何影响 5.用途广泛: 金属薄片厚度测量,振动测量,工作台垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)测量,精密马达转轴偏振测量(Axial, Radial, Spindle runout),精密仪器工作平台定 位，设备自动聚焦测量(微影设备，原子力显微镜，光罩探测，图像确认，LCD生产设备…)
测量表（Gauge）型号
4800系列 8800系列 5800系列 6800系列 6360厚度测量系统
4800系列 以*优化的线性和稳定性著称, 一款多功能测量设备
8800系列 以拥有*好的线性和稳定性系统著称，测量带宽高达20K HZ,纳米级分辨率，超低 噪声**的伺服定位反馈系统设计
5800系列 以高动态测量著称--高分辨率测量，可达100Khz 带宽测量，可靠性测量甚至达触 地物例如气动转子和马达 6800系列 拥有皮米级别噪声分辨率
Mini系列 迷你压缩型传感器测量系统
6360系列 非接触式，高精度测量硅片、CD、DVD、光盘厚度
测量探头(Probe)形状
圆柱型测量探头 45°倾角测量探头 矩型测量探头 直角型测量探头 圆柱型测量探头 探头直径0.5mm 到5mm 可选 45°倾角测量探头 可紧贴圆柱形被测物测量 矩型测量探头 测量马达及轴向转动物时可提供*大分辨率 直角型测量探头 用于测量受限空间测量
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