仪器由倒置式改为正置式，更符合人们的操作习惯； 应用CMOS代替CCD，省去图象卡并提高了质量； 用低压电源代替高压电源，节省了仪器成本； 用国产的代替德国进口压电陶瓷，解决了关键部件的进口难题； 增加了自动步距和亮度校正程序，同时增加了局部放大三维立体图功能；
表面微观不平深度测量范围：130?1nm 测量的重复性：sRa≤0.5nm 测量精度：8nm 物镜倍率：40X 数值孔径：0.65 仪器视场 目视：f0.25mm 摄象：0.13X0.13mm 仪器放大倍数 目视：500X 摄象（计算机屏幕观察）：2500X 接收器测量列阵：1000X1000 象素尺寸：5.2X5.2nm