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中高温压力传感器

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	CYG1600/0600系列中高温压力变送器/传感器 CYG1600/0600	产品综述普通的压阻式压力传感器其敏感测控惠斯顿全桥的四个力敏电阻是用集成电路工艺制造的，电阻间用PN结相互隔离。由于受到PN结耐温限制，*高使用温度仅1250C，而实际上由于PN结反向漏电流随温度指数上升关系，在温度超过1000C后，传感器性能已大大劣化，这限制了普通压阻传感器的可用温度范围。利用厚薄膜技术制作力敏电阻，可将使用温度扩展至1250C；利用多晶硅SOI技术制作力敏电阻，可
	HM11系列离子束溅射薄膜压力传感器 HM11	HM11系列离子束溅射薄膜压力传感器,应用先进的离子束溅射和离子束刻蚀工艺,将应变电桥直接制作在金属测压膜片上。由于不用传统的胶粘工艺,显著改善了应变式传感器的长期稳定性及抗蠕变特性,使产品使用的温度范围大为扩展。

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