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离子泵的概述
日期：2024-07-25 15:45
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摘要：离子泵的概述
离子泵的概述
离子泵是一种高真空泵，可用于制备超高真空环境。相比于其他真空泵，它的排气速度更高，真空度更高，使用寿命更长。其主要工作原理是利用电场和热碰撞将气体分子离子化，然后通过静电吸附将离子排除，达到排气的目的。
离子泵是一种高真空泵，可用于制备超高真空环境。相比于其他真空泵，它的排气速度更高，真空度更高，使用寿命更长。其主要工作原理是利用电场和热碰撞将气体分子离子化，然后通过静电吸附将离子排除，达到排气的目的。