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离子泵的主要组成部分
日期：2024-07-25 15:47
浏览次数：17
摘要：离子泵的主要组成部分
离子泵的主要组成部分
1.离子源
离子源是离子泵的核心部分，其主要作用是将气体分子离子化。离子源通常是由阳极和阴极构成的两个电极结构，通过高电压使气体分子在电离室内产生电离，形成离子，然后被迅速地吸附到周围电极表面而排出气体。
2.收集极
离子泵的收集极是该泵的另一个重要组成部分。收集极是由一组精细的电极构成，可以吸附离子并保持真空度。其主要作用是将被离子化的气体分子排出离子源，并将其吸附到收集极表面，从而完成气体排除的过程。
3.泵壳和电源
离子泵的泵壳和电源通常由一组稳定的任意场磁屏蔽构成，以保证高真空泵的高度稳定。电源为离子泵提供所需的高压能量，使其可以完成离子泵工作的过程。
1.离子源
离子源是离子泵的核心部分，其主要作用是将气体分子离子化。离子源通常是由阳极和阴极构成的两个电极结构，通过高电压使气体分子在电离室内产生电离，形成离子，然后被迅速地吸附到周围电极表面而排出气体。
2.收集极
离子泵的收集极是该泵的另一个重要组成部分。收集极是由一组精细的电极构成，可以吸附离子并保持真空度。其主要作用是将被离子化的气体分子排出离子源，并将其吸附到收集极表面，从而完成气体排除的过程。
3.泵壳和电源
离子泵的泵壳和电源通常由一组稳定的任意场磁屏蔽构成，以保证高真空泵的高度稳定。电源为离子泵提供所需的高压能量，使其可以完成离子泵工作的过程。