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离子泵的主要优点

日期：2025-01-04 20:54
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摘要：离子泵的主要优点
离子泵的主要优点如下：

(1)完全无油。停电时也不用关闭阀门。

(2)工作压强范围广，适合极高真空的获得。

(3)无人运转。只需提供电力即可工作，适合夜间无人操作和远距离操作。拥有自我保护功能，当发生真空恶化并超过一定值后能自动关闭电源。

(4)工作安静，完全无振动、无噪音。

(5)节能。所需电力和压强成正比，刚启动时需要一定的电力，随着真空度的提高则消耗电力降低。

(6)不需要真空计。由于压强和放电电流成正比，知道放电电流则知道大致的真空度。

(7)可对惰性气体排气。

(8)安装方向自由。

但是，离子泵需要和其他初级排气泵组合使用；同钛升华泵一样，离子泵利用化学方法排气，其使用寿命有限。作为吸附泵的一种，离子泵也需要烘烤，以放出吸附的气体。如果真空腔体放出的气体很少，烘烤中也可保持离子泵处于工作状态。如果烘烤中真空腔内的真空度处于10-3 Pa或更差，则应该关闭离子泵。烘烤接近结束，真空度达到10-4 Pa时，再启动离子泵。

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