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离子泵的工作原理
日期：2024-07-25 15:31
浏览次数：14
摘要：离子泵的工作原理
离子泵的工作原理是通过电场和热碰撞将气体分子离子化，然后通过静电吸附将之排除。具体过程如下：
1.在离子源中，利用电场和热碰撞将气体分子离子化。
2.产生的离子会被静电吸附到离子泵的收集极表面，从而完成气体排除的过程。
3.在排除过程中，离子泵中的其他气体会在外部系统中通过低压气体泵排出。
4.随着气体分子周围的真空度的提高，排气速度将一直加快，直到达到目标真空度和气体排出量。
离子泵的工作原理
离子泵的工作原理是通过电场和热碰撞将气体分子离子化，然后通过静电吸附将之排除。具体过程如下：
1.在离子源中，利用电场和热碰撞将气体分子离子化。
2.产生的离子会被静电吸附到离子泵的收集极表面，从而完成气体排除的过程。
3.在排除过程中，离子泵中的其他气体会在外部系统中通过低压气体泵排出。
4.随着气体分子周围的真空度的提高，排气速度将一直加快，直到达到目标真空度和气体排出量。
离子泵的工作原理是通过电场和热碰撞将气体分子离子化，然后通过静电吸附将之排除。具体过程如下：
1.在离子源中，利用电场和热碰撞将气体分子离子化。
2.产生的离子会被静电吸附到离子泵的收集极表面，从而完成气体排除的过程。
3.在排除过程中，离子泵中的其他气体会在外部系统中通过低压气体泵排出。
4.随着气体分子周围的真空度的提高，排气速度将一直加快，直到达到目标真空度和气体排出量。