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1050型射频等离子处理仪
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1050型射频等离子处理仪
产品资料
1050型射频等离子处理仪
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
1050型射频等离子处理仪
产品型号:
1050型
产品展商:
EMS
产品文档:
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简单介绍
原理:通过等离子体与固体表面的相互作用,消除固体表面的有机污染物,固体如:金属、陶瓷、玻璃、硅片等等,同时可以用等离子处理系统对样品表面进行处理,改善样品表面的特性,如亲水/疏水特性,表面自由能,以及表面的吸附/粘附特性等等。
产品描述
1050型射频等离子处理仪
原理:通过等离子体与固体表面的相互作用,消除固体表面的有机污染物,固体如:金属、陶瓷、玻璃、硅片等等,同时可以用等离子处理系统对样品表面进行处理,改善样品表面的特性,如亲水/疏水特性,表面自由能,以及表面的吸附/粘附特性等等。
1050型射频等离子处理仪(Plasma Asher)的等离子处理单元由固态射频发生器结合调谐电路组成。同时两种处**体流量针阀监控,全部或部分通气口控制。
应用领域:
生物芯片领域
医用材料、光学材料研究
电子半导体领域
高分子材料研究
电化学、**零部件处理
有机材料的灰化、刻蚀
仪器性能:
自动调频高频发生器
内置旋转真空泵
此系统通常使用氧及氩的混合气体,氧去除有机物质(碳氢化合物),氩对样品表面进行刻蚀
低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts RF)
真空监测.
双重气流针阀控制
**时间定时
微处理器程序设置
LCD状态数字显示
腔室为圆柱形,样品装载为抽屉式抽拉系统,样本操作方便
聚碳酸脂**防护
技术参数:
电镜有机样本的刻蚀尺寸
450mm(W)x350mm(D)x300mm(H)
工作腔室
派热克斯玻璃 150mm(L)x100mm(Dia.)
(硼硅酸盐玻璃为标准配置)
重量
25Kg
等离子体输出
*大150w,13.56 MHz 。
等离子体输出
*大150w,13.56 MHz 。
真空度
>ATM to 1 x 10
-5
mbar;通常 0.5 mbar to 1.0 mbar.
时间控制
*长可设置99小时59分钟
双重气流控制
双重针阀气流控制,可选1种或2种气体(校准 5-100cm3/min air at A.T.P)
电源
230 V, 50Hz (3 amp Max)
产品信息:
货号
产品名称
规格
93000
EMS 1050 Plasma Asher
台
91005-F
Rotary Vacuum Pump (Fomblin)
个
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