1 探针台主机：α-300
1.1 适用： 12英寸及以下晶圆或芯片
1.2 X轴： 粗调行程：310mm
粗调方式：自锁式推拉杆
微调行程：25mm
微调方式：千分尺控制
控制分辨率：10um
1.3 Y轴： 粗调行程：340mm
1.4 Z轴： 移动量：10mm
粗调行程：5mm，精度：±10%以内
微调行程：0.3mm，精度：±20%以内
1.5 θ轴： 移动量：±8°以上
1.6 平行度： 对载物台 30um以内
1.7 尺寸： 600（W）×600（D）×450（H） 不含突出部
1.8 重量： 约60kg
1.9 真空压 小于-65kPa（用于晶圆吸附）
1.10 压缩空气：0.4-0.5MPa
1.11 使用环境：温度23℃±5℃，湿度20%-80%（无结霜）
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