AGILENT安捷伦B1505A 10KV、1500A功率半导体综合测试仪
产品参数:
B1505A 功率器件分析仪 曲线追踪仪是一种单机解决方案,它具有在10kV 和 1500A 条件下**评估和表征功率器件的下一代曲线追踪仪功能。B1505A 能评估所有类型的功率器件,其优异的性能特性包括宽电压和电流范围,快脉冲能力 ( 10μs ) ,μ Ω级导通电阻测量分辨率,以及亚 pA 级电流测量能力。此外,它的示波器观察功能还可对脉冲波形进行视觉验证。每个通道上配备的两个独立的模数( A / D )转换器支持 2 μs 采样率,能够对有可能影响器件特性的 关键计时进行**监测。它也能在高电压偏置 ( 达3000V )下进行电容测量。带 EasyEXPERT 软件的 B1505A 包括将熟悉的曲线追踪仪测量功能与方便的 PC 基仪器相组合的曲线追踪仪工作模式,传统曲线追踪仪用户能很快掌握该仪器的操作。对于测量功率器件和电源电路,该仪器更便于使用,有更好的数据分析能力,同时也简化了对测量数据的管理。
● 进行宽范围的 IV 测量 ● 达 10 kV/1500 A ● 大的峰功率: 22.5 kW ● 高压偏置下的中电流测量 (即 500 mA, 1200 V 下) ● μΩ 电阻测量 ● 亚 pA 泄漏测量 ● 进行高电压偏置的 CV 测量 ● 脉冲测量 (≥ 10 μs) ● 温度测量 ● 易于使用的 EasyEXPERT 测试环境 ● 曲线追踪仪测试模式 ● 示波器观察方式 ● 模块化配置, 有 10 个用于支持模块 的插槽 ● 多种适用 SMU 类型 : HPSMU, MPSMU, HCSMU, MCSMU 和 HVSMU ● 多频电容测量单元 (MFCMU), (1 kHz 至 5 MHz) ● 适用于封装测试和圆片测试的标准 附件: 测试夹具, 模块选择器和 高压偏置三通 ● 主机随带 4.2 A 接地单元 ● 用于仪器控制的 GPIB 端口 ● 自测, 自校, 自诊
指标条件 规定的测量与输出精度需符合下列条件。注: SMU 的测量和输出精度规定为在 SMU 连接端处, 用检零端作参照。 1. 温度: 23°C ± 5°C 2. 湿度: 20% 至 70% 3. 要在 40 分钟预热后进行自校 4. 在自校后, 环境温度变化需小于 ±1°C (注: 不适用于 MFCMU) 5. 在自校后一小时内进行测量 (注: 不适用于 MFCMU) 6. 校准周期 : 一年 7. SMU 积分时间设置 : 1 PLC (1 nA 至 1 A 量程, 电压量程), 200 μs (20 A 量程) 高速模数转换器平均; 每 1 PLC 为 128 采样样本 8. SMU 滤波器 : 开 (对于 HPSMU 和 MPSMU) 9. SMU 测量端连接:开尔文连接(对于 HPSMU, MPSMU, HCSMU 和MCSMU), 非 Kelvin ( 对于 HVSMU )注: 本文列出了 B1505A 及其模块的技术指标和补充特性。技术指标是对 B1505A 和相关模块的测试标准。出厂的 B1505A 及任何相关模块均符合技术指标要求。技术指标之后的“补充”特性不是保证的指标,而是提供仪器功能和性能的有用信息。 注: 当您在 B1505A 主机中安装或更换模块时,Agilent 保证这些模块的功能性,模块是按技术指标进行的设计。但如果您要求模块达到技术指标,则必须对仪器进行校准。
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