三、9J光切法显微镜规格
测量范围不平度平均高度值
(微米)
表面光洁度级别
所需物镜
总放大倍数
物镜组件
工作距离
(毫米)
视 场
>1.0~1.6
>1.6~6.3
>6.3~20
>20~80
9
8~7
6~5
4~3
60timesN.A.0.55
30timesN.A.0.40
14timesN.A.0.20
7timesN.A.0.12
510times
260 times
120 times
60 times
0.04
0.2
2.5
9.5
0.3
0.6
1.3
摄影装置放大倍数 约6倍 测量不平度范围 (1.0~80)微米 不平宽度 用测微目镜 0.7微米~2.5毫米 用坐标工作台 (0.01~13)毫米 仪器重量 约23公斤 外形尺寸 约180×290×470毫米