高**连续沉积控制或共沉积控制 SQC310厚控制仪为您提供其它生产厂薄膜控制仪所没有的性能与特色. 同时可为您的应用选择理想的模式: 顺序镀膜(SQC310) 或共镀膜 (SQC310C).用于顺序镀膜, SQC310石英晶体膜厚控制仪装备有 2 个传感器输入, 2个源输出, 和8个数字输入/输出, 提供为这些数量加倍的扩展插件板选件用于共镀膜, SQC310C石英晶体膜厚控制仪监测多至 4 个石英晶体传感器, 带有 4 个PID 控制输出, 16个数字输入, 和16个继电器输出, 其他的则与SQC310 的规范相同。 SQC310膜厚控制仪功能概览
高清晰 1/4 VGA 有源矩阵彩色 LCD 显示器 – 提供有英文界面和中文界面
标准 RS-232 或 USB(带有以太网选项)
设有“Quick Setup”(快速设定)菜单、6 个区分上下文按钮以及一个简便的参数设定旋钮,易于设定和操作
Windows® 程序,用于开发、测试和下载过程,以及用于将仪器数据录入 PC 中以供过程分析和质量控制使用
**的过程控制,尤其适用于低沉积速率,测量速率为每秒 10 个读数,测量分辨率为 ±0.03 Hz,0 至 50C 温度范围内频率稳定度为 ± 2 ppm
存储容量可达 100 个过程、1000 层薄膜、50 种薄膜材料
使用单传感器或多传感器监控源材料,提供**的源分布监控 SQC310膜厚控制仪选型: