SF6湿度:
l 测量范围:露点-80~+20℃(支持ppmv等)
l 露点精度:±2℃(当露点温度低于0℃，传感器输出为霜点)
l 分 辨 率:露点0.1℃或0.1ppm
l 重 复 性:±0.5℃
l 气体流量:SF6调节在0.5~0.9L/min
l 探头保护:不锈钢烧结过滤网
SF6纯度:
l 测量范围: 90~100% SF6;
l 精度和重复性: ±0.5%，与流量无关;
l 响应时间: 90%， 30s;
l 传感器:第I代传感器