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双电测四探针法电阻率，方阻测试优缺点概述
日期：2025-02-10 07:59
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摘要：
双电测四探针方阻测试仪,四探针测试仪,双电四探针测试仪
双电测四探针法电阻率，方阻测试优缺点
与普通四探针测试方法不同点
四探针双电测量方法，适用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具.
双电测数字式四探针测试是运用直线或方形四探针双位测量。
与单电测直线或方形四探针相比，大大提高**度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试
优势：
1.符合单晶硅物理测试方法国家标准及美国 A.S.T.M 标准。
2.利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，
技术参数、功能对比和例举分析
| 规格型号 | FT-341 | FT-342 | FT-343 | FT-345 | FT-346 | FT-347 |
| 1.方块电阻范围 | 10-5～2×105Ω/□ | 10-4～2×103Ω/□ | 10-3～2×105Ω/□ | 10-3～2×103Ω/□ | 10-2～2×105Ω/□ | 10-2～2×103Ω/□ |
| 2.电阻率范围 | 10-6～2×106Ω-cm | 10-5～2×104-cm | 10-4～2×106Ω-cm | 10-4～2×104-cm | 10-3～2×106Ω-cm | 10-3～2×106Ω-cm |
| 3.测试电流范围 | 0.1μA,1μA,10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 0.1μA,μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 0.1μA，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA |
| 4.电流精度 | ±0.1%读数 | ±0.2%读数 | ±0.2%读数 | ±0.3%读数 | ±0.3%读数 | ±0.3%读数 |
| 5.电阻精度 | ||||||
| 6.显示读数 | 大屏液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率 | |||||
| 7.测试方式 | 双电测量 | |||||
| 8.工作电源 | 输入耗：（标准样片结果） | |||||
| 10.选购功能 | 选购1.pc软件； 选购2.方形探头； 选购3.直线形探头； 选购4.测试平台 | |||||
双电测四探针法电阻率，方阻测试优缺点概述
显示界面不同
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| 宁波瑞柯仪器有限公司 Ningbo Rooko instrument co., Ltd FT-340系列电阻率测试仪 FT-340 serial resistivity tester 按显示键继续 Http://www.ruike17.cn TEL:0574-27868496 FAX:87460769 |
图3
2.2.测试功能界面不同
| 瑞柯仪器 方阻 接口：USB 测试功能：Rpk 电流：自动 *高电压：低 清零：关 温补：关 长度单位：mm 探针间距：mm 探针形状：直形 温度系数：0.000 厚度：mm 电压：0.0v 温度：0.00℃ |
| 方阻 |
| 材料 |
| 放大 |
| 电阻：…………… 电阻率：………… 电导率：…………. |
图2
图4
3.2.以下系列型号：FT-345 ；FT-347物图如下：
.
图7
工作原理和计算公式不同
1.双电测四探针法测试薄层样品方阻计算和测试原理如下：
直线四探针测试布局如图8，相邻针距分别为S1、S2、S3,根据物理基础和电学原理：
当电流通过1、4探针，2、3探针测试电压时计算如下：
四探针测试结构图8
当电流通过1、2探针，4、3探针测试电压时计算如下：
从以上计算公式可以看出：方阻RS只取决于R1和R2，与探针间距无关．针距相等与否对RS的结果无任何影响，本公司所生产之探针头全部采用等距，偏差微小，对测试结果更加精准。
2.仪器工作原理图
| 输入 电源 |
| 被 测 物 |
| 液晶 显示 |
| 电脑 软件 打印 |
| 芯片 模块 |
| 恒 流 源 |
双电测四探针法电阻率，方阻测试优缺点概述
图9