产品详情
简单介绍:
C型(低音反射型),热清洁室,洁净室用,AIRTECH气泰克DSLY0505
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C型(低音反射型),热清洁室,洁净室用,AIRTECH气泰克DSLY0505
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C型(低音反射型),热清洁室,洁净室用,AIRTECH气泰克DSLY0505
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C型(低音反射型),热清洁室,洁净室用,AIRTECH气泰克DSLY0505
根据温度变化的伸缩和位置精度的设备,在细微测量设备等的设备上通过清洁空气调节湿度控制,排除在设置地方环境变动的影响。
配合客户的需求,对应所有特殊对应品的要求。
製品のポイント
- 清浄度はISOクラス4(クラス10)です。
- ±0.1℃~±0.005℃の温度コントロールが可能です。
- 内蔵装置に合わせた設計が可能です。
- 複数の保護回路により**性を考慮しました。
- 製品**の原因となる粒子、ガスの付着防止や温度・湿度の変化による膨張、収縮防止のための、高度清浄環境、高精度の温度・湿度環境の創出します。
- 湿度制御は40~60%RHの標準仕様範囲のほか、5~40%RHの低湿度仕様のご要望にもお応えします。
- PID制御、超精密部品および温度精度に合わせた気流システムを採用しており、温度ゆらぎ精度は0.1℃~0.002℃まで可能です。
規格・仕様について
Cタイプ(エンクロージャー型) |
・測長機、ステッパーに*適な機器です。
・湿度制御機構、送風機、HEPAフィルターを内蔵した空調機と作業域(チャンバー)にて構成されています。 ・チャンバーには自動シャッター(電気、圧空)、内部装置の操作確認用窓、メンテナンス用扉を取付けることができます。 ・HEPAフィルターを天井に配置した垂直層流タイプと横に配置した水平層流タイプがあります。 |
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Bタイプ(開放型) |
・プロジェクションアライナー用
・垂直層流型クリーンベンチの背面に温度制御機構付き空調機を内蔵したオープンタイプの機器です。 ・据付面積が小さく、また移動が容易なキャスター付で取扱性に優れています。 |
Sタイプ(分離型) |
・電子ビーム描画装置、処理風量50m/min以下の小型機器に*適です。
・空調機を作業域(チャンバー)から分離してダクト方式を採用したことにより、 騒音、振動、電磁ノイズ等を遮断します。 また正面・両側面・背面の4方向から内部装置を操作できます。 ・吸込口と作業域をダクト連結した循環方式の機器もあります。 |
主な用途 |
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半導体製造 |
ステッパー(縮小投影露光装置)、アライナー、電子ビーム描画装置
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表示パネル製造 |
液晶パネル、プラズマディスプレイ、FED
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精密加工 |
鏡面研磨機、レーザー加工機、磁気ヘッド切削機、精密レンズ研磨機、CD-R・DVD-R用スピンコーター
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精密測定器 |
精密測長機、2次元・3次元測長機
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バイオロジカリー |
精密顕微鏡、温湿度変化を嫌う試料の取扱い等
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