产品详情
简单介绍:
RSK系列,无尘室储存箱,无尘室用,AIRTECH气泰克DSLY0505
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详情介绍:
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レチクルやマスクを補完するシステムです。全自動型と手動型があります。設置場所や収納枚数などにより、設計できます。内部は、専用クリーンユニットを配し、清浄度クラス1~100に維持されます。
製品のポイント
- 自動入手庫型と手動型があります。
- レチクルやマスクの収容枚数に合わせて設計されます。
- 内部は、クリーンユニットで清浄化されます。
- 清浄度クラスは、ISOクラス3~5(クラス1~100)に維持されます。
規格・仕様について
形式 |
RSK-□ □ □ □- □ □
|
---|---|
清浄度 |
レチクル保管部:ISO3(クラス1)
レチクル移動部:ISO4(クラス10) |
集塵効率 |
0.3μm粒子(大気塵)にて99.99%以上
|
集塵要素 |
メインフィルター:ULPAフィルター
|
処理風量 |
160m³/min
|
吹出風速 |
約0.2m/sec ~0.4m/sec
|
電源 |
AC200V 3φ 50/60Hz
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入出可能ワーク |
キヤノン、ニコン6inchレチクルケース兼用
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*大保管数 |
1036枚
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移動機構 |
スカラロボット型4j軸同時補間サーボシステム
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入出庫口 |
各5ヶ所(同時入出庫可能)
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構造 |
本体:鋼板製焼付塗装
保管棚板:アルミニウム(アルマイト仕上げ) 保管棚:デルリン樹脂成型品 |
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