产品详情
简单介绍：
RSK系列，无尘室储存箱，无尘室用，AIRTECH气泰克DSLY0505
RSK系列，无尘室储存箱，无尘室用，AIRTECH气泰克DSLY0505
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详情介绍：
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RSK系列，无尘室储存箱，无尘室用，AIRTECH气泰克DSLY0505
レチクルやマスクを補完するシステムです。全自動型と手動型があります。設置場所や収納枚数などにより、設計できます。内部は、専用クリーンユニットを配し、清浄度クラス１～100に維持されます。
製品のポイント
- 自動入手庫型と手動型があります。
- レチクルやマスクの収容枚数に合わせて設計されます。
- 内部は、クリーンユニットで清浄化されます。
- 清浄度クラスは、ISOクラス３～５（クラス１～１００）に維持されます。
規格・仕様について
| 形式 |
RSK-□ □ □ □- □ □
|
|---|---|
| 清浄度 |
レチクル保管部：ISO3(クラス1)
レチクル移動部：ISO4(クラス10) |
| 集塵効率 |
0.3μm粒子（大気塵）にて99.99％以上
|
| 集塵要素 |
メインフィルター：ULPAフィルター
|
| 処理風量 |
160m³/min
|
| 吹出風速 |
約0.2m/sec ～0.4m/sec
|
| 電源 |
AC200V 3φ 50/60Hz
|
| 入出可能ワーク |
キヤノン、ニコン6inchレチクルケース兼用
|
| *大保管数 |
1036枚
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| 移動機構 |
スカラロボット型4j軸同時補間サーボシステム
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| 入出庫口 |
各5ヶ所(同時入出庫可能)
|
| 構造 |
本体：鋼板製焼付塗装
保管棚板：アルミニウム(アルマイト仕上げ) 保管棚：デルリン樹脂成型品 |
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