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产品资料

英福康INFICON Transpector CPM 紧凑型过程监控器 气体分析仪、质谱仪 英福康检漏仪、质谱仪、分析仪 苏州无锡上海英福康INFICON检漏

英福康INFICON Transpector CPM 紧凑型过程监控器 气体分析仪、质谱仪 英福康检漏仪、质谱仪、分析仪 苏州无锡上海英福康INFICON检漏
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  • 产品型号：英福康INFICON Transpector CPM 紧凑型过程监控器
  • 产品展商：英福康INFICON
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简单介绍
英福康INFICON Transpector CPM 紧凑型过程监控器 气体分析仪、质谱仪 英福康检漏仪、质谱仪、分析仪 苏州无锡上海英福康INFICON检漏仪 苏州湖州芜湖南昌过程监控器
产品描述

英福康INFICON Transpector CPM 紧凑型过程监控器 气体分析仪、质谱仪 英福康检漏仪、质谱仪、分析仪 苏州无锡上海英福康INFICON检漏


Transpector CPM 紧凑型过程监控器

经济型综合气体分析



INFICON Transpector® CPM 通过以下功能提供 现场 预警并降低成本：
 

  • 测量气相反应
  • 验证真空完整性
  • 鉴定痕迹量级污染物
  • 测量过程和本底成分
  • 检测气体纯度



INFICON CPM 紧凑型过程监控器是一款功能**、结构紧凑且经济实惠的气体分析仪，适用于现场监控复杂的过程。这种干泵系统使用 INFICON Transpector 2 气体分析系统的成熟技术，帮助您达到新的性能水平。

功能


  • 基于四极的气体分析系统可监控复杂的过程。
  • 支持 24/7 全天候监控，可*大限度地提高产量和吞吐量，从而大幅降低成本。
  • 小巧灵活、经济实惠，适合安装到任何高压真空室。
  • HexBlock™ 采样系统提高性能。
  • 内置 CDG，支持过程压力监控和真空联锁。
  • 可选校准基准（用于调节）和气体基准。
  • 长寿命封闭式离子源可检测亚 ppm 量级的污染，同时耐*强的腐蚀性和活性气体。
  • 轻便，易携带。

    附件

    CPM Compact Process Monitor
    零件号 明细
    911-451-P1 Converter, USB to RS232
    923-720-G1 1000 Torr CPM CDG，包括电缆
    923-720-G2 100 Torr CPM CDG，包括电缆
    923-720-G3 10 Torr CPM CDG，包括电缆
    923-720-G4 1 Torr CPM CDG，包括电缆

备件


CPM Compact Process Monitor
零件号 明细
915-700-G2 Closed Ion Source Kit
915-701-G2 Sensor Filament Kit
915-723-G1 Closed Ion Source Kit
915-724-G1 Spare Ion Source Liner
923-208-G11 1 Torr CPM CDG
923-208-G12 10 Torr CPM CDG
923-208-G13 1000 Torr CPM CDG
923-401-P1 Manifold Heater, CPM
923-403-P2 US18238, SMC VQ100 Manifold for CPM
923-404-P1 HexBlock Insulator, CPM
923-603-G2 Electronics Box, CPM
CPM Compact Process Monitor Gas Inlet
零件号 明细
059-0400 Replacement c-ring, CPM
922-204-G1 Capillary, CPM, 1.5 m
922-204-G3 Capillary, CPM, 3 m
923-706-G10 Orifice Kit, CPM, 30 Torr
923-706-G3 Orifice Kit, CPM, 10 Torr
923-706-G4 Orifice Kit, CPM, 1 Torr
923-706-G5 Orifice Kit, CPM, 100 mTorr
923-706-G6 Orifice Kit, CPM, 10 mTorr
923-706-G7 Orifice Kit, CPM, 360 mTorr
923-706-G8 Orifice Kit, CPM, 15 mTorr
923-706-G9 Orifice Kit, CPM, 3 Torr
923-707-G1 Sniffer Kit, CPM, 10 Torr, 5 cm
923-707-G2 Sniffer Kit, CPM, 100 Torr
923-707-G3 Sniffer Kit, CPM, 7 Torr, 30.5 cm
923-707-G4 Sniffer Kit, CPM, 30 Torr, 5 cm
923-707-G5 Sniffer Kit, CPM, 300 Torr
923-707-G6 Sniffer Kit, CPM, 30 Torr, 30 cm
923-707-G7 Sniffer Kit, CPM, 10 Torr, 30.5 cm
CPM Compact Process Pumping
零件号 明细
923-723-G1 4 级隔膜泵 - 24 V(dc)
923-724-G1 Turbo SplitFlow PumpKit CPM nonCorrosive
923-724-G2 Turbo SplitFlow Pump Kit, CPM Corrosive
CPM Compact Process Monitor Preventative Maintenance
零件号 明细
923-710-G1 HexBlock Orifice Replacement tools
923-711-G1 HexBlock Valve Replacement Kit
923-712-G1 HexBlock Orifice Gasket, Quantity 5
923-722-G1 用于 2 级泵的更换隔膜套件
930-4241-P1 Replacement Diaphragm Kit, 4-Stage Pump



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