英福康INFICON Transpector MPH 残余气体分析仪 英福康分析仪 苏州湖州无锡英气体分析仪、残余气体分析仪、质谱仪 南通上海英福康气体分析仪

Transpector MPH 残余气体分析仪

监控您的过程

****的性能有助于提高产量并实现*长运行时间

持续升高的硅晶圆价格和成品需求意味着损坏晶圆的代价比以前更高。因此，在半导体制造中心了解过程并监测缺陷也变得更加重要。Transpector MPH 气体分析系统专门用于让您的系统在所有气体分析应用中都实现业内**的性能，有助于*大限度地提高芯片产量，降低工具停工时间。Transpector MPH 兼具较低总体拥有成本和较长故障平均间隔时间的特性，有助于让您的盈亏底线优于市场上的所有其他残余气体分析仪 (RGA)。

INFICON 发挥其在气体分析过程控制设备领域的专长，制造的 RGA 拥有业内**的数据采集速度、*低可检测分压和*小的信噪比。所有这些特性都不会牺牲 INFICON Transpector 气体分析仪一贯出色的可靠性。

功能

• 模拟扫描和所选峰值的 1.8 ms *高每点数据率
• TCP/IP 以太网连接
• 双丝极
• 可现场更换电子倍增器
• 组合阳极、阴极和反射极丝极套件
• 较短的传感器可降低安装占地面积
• 九个数量级的动态量程
• <2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu 型号)
• 信噪比更高
• 可调换传感器和电子元件
• 传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装
• 符合 RoHS 标准

  规格

  类型		MPH100F	MPH100M	MPH200F	MPH200M	MPH300F	MPH300M
  传感器长度		14.3 cm	19.3 cm	14.3 cm	19.3 cm	14.3 cm	19.3 cm
  质量范围		100 amu	100 amu	200 amu	200 amu	300 amu	300 amu
  检测器类型		FC	FC/EM	FC	FC/EM	FC	FC/EM
  灵敏度 (FC)		6E-4 A/Torr	6E-4 A/Torr	5E-4 A/Torr	5E-4 A/Torr	4E-4 A/Torr	4E-4 A/Torr
  灵敏度 (EM)		NA	500 A/Torr	NA	500 A/Torr	NA	250 A/Torr
  *小可检测分压		3E-13 Torr	2E-15 Torr	4E-13 Torr	3E-15 Torr	5E-13 Torr	4E-15 Torr
  *高传感器工作温度(FC)		200°C	200°C	200°C	200°C	200°C	200°C
  *高传感器工作温度(EM)		NA	150°C	NA	150°C	NA	150°C
  丝极类型选件 (1)		Y2O3/Ir	Y2O3/Ir	Y2O3/Ir	Y2O3/Ir	Y2O3/Ir	Y2O3/Ir
  丝极类型选件 (2)		Tungsten	Tungsten	Tungsten	Tungsten	Tungsten	Tungsten
  分辨率（整个质量范围内）		<1 amu wide (3)	<1 amu wide (3)	<1 amu wide (3)	<1 amu wide (3)	<1 amu wide (3)	<1 amu wide (3)
  温度系数		<1% of peak height/°C	<1% of peak height/°C	<1% of peak height/°C	<1% of peak height/°C	<1% of peak height/°C	<1% of peak height/°C
  *高每点数据率		1.8 ms	1.8 ms	1.8 ms	1.8 ms	1.8 ms	1.8 ms
  零冲击（@ 质量 2）		<5 ppm	<5 ppm	<65 ppm	<65 ppm	<100 ppm	<100 ppm
  *大工作压力		5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr	5E-4 Torr
  *高烘烤温度	°C °F	300	300	300	300	300	300
  功率输入		20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC	20-30 VDC

  (1) 用于普通应用

  (2) 用于卤素环境应用

  (3) 位于峰值高度的 10%

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