MKS 946真空测量与控制系统
MKS 946是一种通用的真空计的测量和控制系统，可控制6个不同的真空计或质量流量控制器（MFC），提供电源并同时读出，可用于控制压力的选择。
946这种高灵活性的真空系统控制器支持MKS电容压力计，冷阴极，热阴极，从超高真空到大气以上的测量范围真空计。此外，946系列控制器还可监测与控制MKS 的G系列、P系列、I系列和传统的质量流量控制器，以及MKS压力控制阀门（排气节流阀）。
MKS 946特点与优势
同步控制与读出6个真空计或质量流量控制器（MFC）
压力读数可从10000至10-11Torr
可同时支持MKS阀门压力控制回路，减少了对压力控制单独的电子产品的需求
RS232/485计算机的控制标准，在所有的系统中集成方便
可使用多个质量流量控制器进行流量比值控制
包括12个设定点继电器，系统控制有很大的灵活性
MKS 946技术参数：
显示：320*240的彩色QVGA TFT LCD背光、6通道的压力与流量显示、设定点单元显示指标、PID控制状态和阀位。
兼容传感器：MKS电容式压力计、电容式差压计提供0-10V的输出，MKS真空计系列、皮拉尼传感器、冷阴极传感器、裸规与MIG类型。
兼容质量流量控制器：MKS G系列、I系列与P系列等MKS传统型质量流量控制器。
兼容压力控制阀：MKS 248A、148J、154A（电磁控制阀）、153D和T3Bi。
压力测量范围：10000Torr至10-11Torr
压力单位：Pa、mbar、Torr
流量单位：sccm、slm
工作温度：5-40℃
电源要求：150W，100-240V 50/60Hz
认证：CE、EMC
重量：3.6Kg
MKS 946控制器订购资料：
控制器
国家标准
卡槽A
卡槽B
卡槽C
通讯/压力控制槽
订购代码
946
US
CC/CL
NA
JP
冷阴极
空白
EU
CT
PC
UK
双对流皮拉尼/标准皮拉尼
压力控制
CA
CM
双电容压力计/差压计
HC
热阴极LPN/MIG
FC
MFC