HPS 979B系列常压至真空传感器（ATV）是专为超高真空工艺而设计的，它是测量PVD工艺和离子注入工艺中压力周期性大范围变化的理想选择。双传感器和数字接口设计有助于实现高真空薄膜淀积应用中所需的长期稳定性和准确性。紧凑的外形使979系列成为半导体设备和分析仪器的系统集成商与设备制造商的理想选择。
979B系列包含有一个宽量程的MlcroPirani微皮拉尼（10-4Torr至常压）和低功率微型离子测量计（10-10至10-2Torr），其整个压力测量范围为13个数量级。与传感器独立的继电器具有3个预设点，简化了真空系统控制，例如可进行缓慢抽空、涡旋分子泵的控制和阀门动作控制。
979B系列真空计主要参数：
测量范围：5X10-10Torr至大气压
设定范围：5X10-10至100Torr
精度：10-9至10-3Torr ±20%读数10-3至100Torr ±5%读数
重复性：10-9至10-3Torr ±5%读数10-3至100Torr ±2%读数
电源要求：24 VDC 15W
979B系列真空计订购资料：
979B-11 979B系列传感器,1-1/3〃CF,RS232,0.5-7VDC
979B-12 979B系列传感器,1-1/3〃CF,RS485,0.5-7VDC
979B-21 979B系列传感器,2-3/4〃CF,RS232,0.5-7VDC
979B-22 979B系列传感器,2-3/4〃CF,RS485,0.5-7VDC
979B-31 979B系列传感器,KF16,RS232,0.5-7VDC
979B-32 979B系列传感器,KF16,RS485,0.5-7VDC
979B-41 979B系列传感器,KF25,RS232,0.5-7VDC
979B-42 979B系列传感器,KF25,RS485,0.5-7VDC
979B-51 979B系列传感器,KF40,RS232,0.5-7VDC
979B-52 979B系列传感器,KF40,RS485,0.5-7VDC