GSL-1800X-ZF4高真空蒸发镀膜仪
产品概述:
GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪,特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜(如Ti、Al 、Au等),也可蒸镀各种氧化物材料。本机设有4个蒸镀加热舟,且每个蒸镀舟都带有挡板。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜,可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求,是一款镀膜效果理想且性价较高的实验设备。
· 主要特点: 真空控制单元全部集合在一个控制盒内。
· 采用独立的蒸镀电流控制器,操作方便快捷。
· 真空腔体设有1个KF40旁抽阀(直接与前级机械泵相连,方便快速取放样品,提高效率)、1个CF150闸板 阀(直接与分子泵相连)、1个KF16法兰(安装电阻规)、5个CF35法兰(1个安装电离规,4个备用,便于安装其他设备)。
· 在腔体底部配有5个水冷电极,可支持4个蒸镀加热舟。
· 4个蒸镀加热舟上方配有独立的可移动挡板,有效地避免蒸发时相互污染。
(1)样品台安装在腔体的顶部。
(2)腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪,精度为10Å。
· 可使用循环水冷机。
技术参数:
· 输入:单相AC208-240V,20A,50Hz/60Hz,<10KW
· 输出:0-8V AC 可调,*大电流400A,*大功率8000W(包括真空泵)
· 真空腔:Φ300mm(内径)×400mm,不锈钢,内壁经电抛光处理
· 腔门:Φ200mm
· 观察窗:Φ95mm,采用专用密封圈密封
· 真空泵:高抽速涡轮分子泵,抽速600L/s(标配GZK-103G分子泵)
· 真空度:5.0×10-6torr��泵开启40min后)
(1)极限真空度:5.0×10-7torr (加热温度为100℃-150℃)
(2)漏率:5.0×10-7Pa/s
(3)样品台:Φ140mm
(4)蒸发舟与样品台间距:260mm
· 冷却水需量:15L/min
产品规格:
· 尺寸:650mm×1200mm×1600mm;
· 重量:600kg
京公网安备 11011502003124号