高真空蒸发镀膜仪

GSL-1800X-ZF4高真空蒸发镀膜仪

产品概述：

GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪，特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜（如Ti、Al 、Au等），也可蒸镀各种氧化物材料。本机设有4个蒸镀加热舟，且每个蒸镀舟都带有挡板。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜，可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求，是一款镀膜效果理想且性价较高的实验设备。

·  主要特点：
真空控制单元全部集合在一个控制盒内。

·  采用独立的蒸镀电流控制器，操作方便快捷。

·  真空腔体设有1个KF40旁抽阀（直接与前级机械泵相连，方便快速取放样品，提高效率）、1个CF150闸板 阀（直接与分子泵相连）、1个KF16法兰（安装电阻规）、5个CF35法兰（1个安装电离规，4个备用，便于安装其他设备）。

·  在腔体底部配有5个水冷电极，可支持4个蒸镀加热舟。

·  4个蒸镀加热舟上方配有独立的可移动挡板，有效地避免蒸发时相互污染。

（1）样品台安装在腔体的顶部。

（2）腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪，精度为10Å。

·  可使用循环水冷机。

技术参数：

·  输入：单相AC208-240V，20A，50Hz/60Hz，<10KW

·  输出：0-8V AC 可调，*大电流400A，*大功率8000W（包括真空泵）

·  真空腔：Φ300mm（内径）×400mm，不锈钢，内壁经电抛光处理

·  腔门：Φ200mm

·  观察窗：Φ95mm，采用专用密封圈密封

·  真空泵：高抽速涡轮分子泵，抽速600L/s（标配GZK-103G分子泵）

·  真空度：5.0×10-6torr（泵开启40min后）

（1）极限真空度：5.0×10-7torr （加热温度为100℃-150℃）

（2）漏率：5.0×10-7Pa/s

（3）样品台：Φ140mm

（4）蒸发舟与样品台间距：260mm

·  冷却水需量：15L/min

产品规格：

·  尺寸：650mm×1200mm×1600mm；

·  重量：600kg

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