由西安交通大学维纳仪器有限责任公司研制、开发、生产的WYG系列中高温微型压力传感器及变送器为国家高技术发展计划(863计划)的研究成果。
其中“耐高温微型压力传感器”为国家高技术研究发展计划(863计划)MEMS领域重点项目成果，并通过部级成果鉴定，拥有自主知识产权(发明**：ZL 01 1 28782.9和ZL001.13961.4)。耐高温压力传感器广泛应用于航空航天、石油化工、汽车等领域高温环境下的压力测量。如测量航空航天发动机燃烧室在启动、停车、不稳定燃烧期间的各种瞬变压强，从而掌握燃烧室压强变化规律，为设计和评价发动机提供依据；测量石油化工领域各种反应釜、冶炼塔、采油井下的压力，为**生产、提高石油产量提供判据；测量能源动力、**火工品、汽车工业等在特种环境下的压力等。这些领域对耐高温压力传感器的年需求总量约为4万只，随着国 民经济和国防现代化的发展，高温压力传感器的市场需求将以每年10%～32%的速率递增。而常规的硅压力传感器只能在120℃以下进行压力测量，超过120℃时，传感器的性能会严重恶化以至失效，当传感器遇到被测流体大于1000℃瞬时高温冲击时，敏感元件就会被烧坏，导致信号处理系统和电路失调。长期以来，美国、瑞士、英国等国外公司的耐高温压力传感器产品垄断了国际市场，我国高温压力传感器产品主要依赖进口， 一直受制于人。
一、主要技术指标
型号
WYG系列耐高温微型压力传感器
量程
0～50，100，500pa，1，2，4，6，10，25----100Mpa
零位输出
V0≤10%FS
满量程输出
VFS=80±20mV
过载能力
2～30%
供电方式
恒流源：1～10mA
工作温度
－40～300℃
耐冲击温度
≤2000℃
适用介质
除氟、氯、氯化氢气体及苛性碱外的几乎所有介质
二、性能参数
**度等级
0.1
0.2
0.3
0.5
1.0
零位时漂（mV/8h）
≤±0.05
≤±0.075
≤±0.1
≤±0.15
≤±0.25
零点温度系数(%FS/℃)
≤±0.01
≤±0.015
≤±0.02
≤±0.03
灵敏度温度系数(%FS/℃)
非线性(%FS)
≤±0.2
≤±0.4
≤±0.8
重复性(%FS)
≤±0.5
迟滞(%FS)
功耗
≤100mW
三、标准外形、压力接口及壳体材料