SICK传感器的频率响应如何提高？
SICK传感器因其采用硅集成电路工艺技术和硅三维加工技术制造，利用硅优良的力学特性，用硅膜作为弹性敏感元件。二者一体化、尺寸小。因而固有频率很高，加上硅材料的杨氏模量很高，硅压阻检测元件是惠斯顿电桥模式。因此硅压阻式压力传感器频响带宽从零频开始，高可达1MHz以上。