首先SMC真空发生器就是利用正压气源产生负压的一种新型，高效，清洁，经济，小型的真空元件，这使得在有压缩空气的地方，或在一个气动系统中同时需要正负压的地方获得负压变得十分容易和方便。
SMC真空发生器的性能与喷管的*小直径，收缩和扩散管的形状，通径及其相应位置和气源压力大小等诸多因素有关。
①*大吸入流量qv2max的特性分析
②吸入口处压力Pv的特性分析
③在吸入口吵完全封闭的条件下，对特定条件下吸入口处压力Pv与吸入流量之间的关系
④扩散管的长度应保证喷管出口的各种波系充分发展，使扩散管道出口截面上能获得近似的均匀流动。
⑤吸着响应时间与吸附腔的容积有关(包括扩散腔，吸附管道及吸盘或密闭舱容积等)，吸附表面的泄漏量与所需吸入口处压力的大小有关。
直动型SMC真空发生器如下图：
日本SMC真空发生器系列
SMC真空发生器ZA系列
大型真空组件ZR
真空发生器ZM
带电子式延时器真空发生器ZMA
薄型真空泵系统ZQ
真空发生器ZH
直通型真空发生器ZU
多级发生器ZL
真空发生器阀组件ZYY*ZYX