真空发生器产生真空的原理和传统真空泵是不一样的。它是让压缩空气在泵体内形成高速气流，大家知道，气体的流动速度越高，当地的气体压力就越低（从柏努利方程可以得出），因此就具有越强的抽吸能力。真空发生器就是利用这种原理制成的。 正因为如此，在日本SMC原装多级真空发生器ZL112-DNL同等真空抽气量的情况下，真空发生器体积小，基本不用维护，真正的无油，是一种既可靠效率又高的真空泵。 真空发生器分单级真空发生器和多级真空发生器两类，在消耗相同压缩空气的条件下，多级真空发生器在标准大气下的真空抽气量一般是单级真空发生器的好几倍，因此，多级真空发生器是真正高效率的真空泵。SMC真空发生器的性能与喷管的*小直径，收缩和扩散管的形状，日本SMC原装多级真空发生器ZL112-DNL通径及其相应位置和气源压力大小等诸多因素有关。真空发生器的吸入口处压力，吸入流量，空气消耗量与供给压力之间的关系曲线。图中表明，供给压力达到一定值时，吸入口处压力较低，这时吸入流量达到*大，当供给压力继续增加时，吸入口处压力增加，这时吸入流量减小。 真空发生器的使用环境要求很简单，只要有压缩空气源，就可以使用真空发生器。中国绝大部分工厂都有压缩空气源，完全有条件使用真空发生器。真空发生器通常是通过电解纯净水而产生臭氧。这种发生器能制取高浓度的臭氧水，制造成本低，使用和维修简单。但由于有臭氧产量无法做大、电极使用寿命短、臭氧不容易收集等方面的缺点，其用途范围受到限制。目前这种发生器只是在一些特定的小型设备上或某些特定场所内使用，不具备取代高压放电式发生器的条件。
SMC真空发生器的工作原理——就是利用正压气源产生负压气源的一种高效、新型、清洁、小型的真空元器件，这就使得在有需要压缩空气的地方，或者在一个自动化控制体系中同时需要正负压差的地方获得负压就会变得相对容易和便捷多了。
日本SMC原装多级真空发生器ZL112-DNL
日本SMC真空发生器的结构——由喷嘴、接收室、混合室和扩散室共四部分组成。