SMC真空发生器的性能与喷管的*小直径，收缩和扩散管的形状，通径及其相应位置和气源压力大小等诸多因素有关。
①*大吸入流量qv2max的特性分析
②吸入口处压力Pv的特性分析
③在吸入口吵完全封闭的条件下，对特定条件下吸入口处压力Pv与吸入流量之间的关系
④扩散管的长度应保证喷管出口的各种波系充分发展，使扩散管道出口截面上能获得近似的均匀流动。
⑤吸着响应时间与吸附腔的容积有关(包括扩散腔，吸附管道及吸盘或密闭舱容积等)，吸附表面的泄漏量与所需吸入口处压力的大小有关。
日本SMC真空发生器
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