FESTO真空**阀提供控制压力作用于膜片上，膜片上硬芯就是阀芯，压在阀座上。当气源压力A大于**压力时，阀芯开启，压缩空气从左侧输出孔排入大气。膜片式**阀和先导式**阀压力特性较好、动作灵敏；但*大开启力比较小，即流量特性较差。实际应用时，应根据实际需要选择**阀的类型，并根据*大排气量选择其通径。
FESTO真空发生器及真空**阀在系统中起**保护作用。当系统压力超过规定值时，**阀汀开，将系统中的一部分气体排入大气，使系统压力不超过允许值，从而保证系统不因压力过高而发生事故。**阀又称溢流阀。图示为**阀的几种典型结构形式。图a为活塞式**阀，阀芯是一平板。气源压力作用在活塞A上，当压力超过由弹簧力确定的**值时，活塞A被顶开，一部分压缩空气即从阀口排入大气；当气源压力低于**值时，弹簧驱动活塞下移，关闭阀口。
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